S12237-03PMEMSミラー

超小型・高性能
電磁駆動式のレーザ走査型MEMSミラー

 

当社独自のMEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)技術を応用した電磁駆動式のミラーです。ミラーの下に磁石を配置することで、超小型を実現しています。磁石の磁界中において、ミラー周辺のコイルに電流を流すと、フレミングの法則によってローレンツ力が発生し、ミラーを駆動します。当社のMEMSミラーは、低消費電力とともに、広い光学的振れ角、高いミラー反射率も実現しています。

 

■特長
・低電流動作
・小型
・広い光学的振れ角

外形寸法図 (単位: mm)

k_s12237-03p_do_xx.jpg

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