RF放電型エキシマランプ

製品カタログ

エキシマランプ光源 "FLATEXCIMER" [2.9 MB/PDF]


3件が見つかりました。

FLAT EXCIMER EX-400: L11751-01   NEW

  • インライン
  • 長尺・大面積

平面長尺ランプとRF(高周波)放電の採用により、大面積で均一な照射とちらつきの少ない安定した出力を実現しました。コロナ放電方式やプラズマ方式、他のエキシマランプに比べて、高精度・高品質な改質・洗浄・接合を可能にします。

FLAT EXCIMER EX-mini: L12530-01   NEW

  • R&D
  • 小型

驚きの手軽さにより、どこでも簡易的に精度の高い実験・評価をすることが可能となりました。インライン向けエキシマランプ光源 EX-400 / EX-86U と同等のランプ性能を有するため、R&D向けエキシマランプ光源 EX-mini での評価結果をそのままインラインにいかすことができます。

FLAT EXCIMER EX-86U: L13129   NEW

  • インライン
  • 小型

小型軽量化・電源内蔵によるオールインワン化により、設置手間を解消し設置場所を選ぶことなく簡単に製造工程へ導入出来るようになりました。また、インラインにおける汎用性が高いため、既存ラインへの組み込みやライン移設など容易に行えます。

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