真空紫外光を利用した静電気除去ユニットです。MgF2窓付き重水素ランプの弊社従来品に比べ、約3倍の広角照射を実現し、減圧下での広い面積の除電が可能となりました。従来品は照射角度の制限により、広い面積の除電には複数台必要であった問題を解消しました。

製品カタログ

光除電 [1.8 MB/PDF]


技術資料

真空中での除電技術 [600 kB/PDF]


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静電気除去ユニット VUVイオナイザ: L12542

真空紫外光を利用した静電気除去ユニットです。弊社従来品に比べ、約3倍の広角照射を実現し、減圧下での広い面積の除電が可能となりました。従来品は照射角度の制限により、広い面積の除電には複数台必要であった問題を解消しました。

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