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MEMS-FPI分光センサは、印加電圧により透過波長を可変できるMEMS-FPI (Fabry-Perot Interferometer: ファブリペロー干渉計)チューナブルフィルタとInGaAs PINフォトダイオードを1パッケージに収めた超小型センサです。

MEMS-FPI分光センサの構造

▲内部構造

MEMS-FPI分光センサは、MEMS-FPIチューナブルフィルタ、受光素子 (フォトダイオード)などから成ります。光入射方向と同軸上に MEMS-FPIチューナブルフィルタと受光素子を配置するシンプルな構成です。本製品は分光センサでありながら、単素子の受光素子を使用 しており、高価な多チャンネルの受光素子を使う必要がありません。

MEMS-FPIチューナブルフィルタ

▲断面図

MEMS-FPIチューナブルフィルタは、エアギャップを介して、上部ミラーと下部ミラーを対向させています。ミラー間に電圧を印加し、その静電引力によってエアギャップの調整を行います。そのため、上部ミラーはメンブレン (薄膜)構造となっています。エアギャップがmλ/2のときに、おおむね波長 λが透過するフィルタとして機能します (m: 整数)。フィルタ制御電圧を大きくすると静電引力によりエアギャップは小さくなり、透過ピーク波長が短波長側へシフトします。

 

2件が見つかりました。

型番製品名感度波長範囲波長分解能 (半値幅) max.暗電流 max.検出素子受光面サイズ
C13272-02 MEMS-FPI分光センサ 1550~1850 μm 20 nm 40 nA φ0.1 mm
C14272 MEMS-FPI分光センサ 1350~1650 μm 18 nm 10 nA φ0.3 mm

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