当社独自のMEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)技術を応用した電磁駆動式のミラーです。ミラーの下に磁石を配置することで、超小型を実現しています。磁石の磁界中において、ミラー周辺のコイルに電流を流すと、フレミングの法則によってローレンツ力が発生し、ミラーを駆動します。当社のMEMSミラーは、低消費電力とともに、広い光学的振れ角、高いミラー反射率も実現しています。

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S12237-03P

MEMSミラー: S12237-03P   NEW

超小型・高性能
電磁駆動式のレーザ走査型MEMSミラー

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