半導体デバイス内部の故障に起因する微弱な発光・発熱等を検出しその位置を特定するシステムです。

4件が見つかりました。

phemos-1000 製品写真

PHEMOS-1000 エミッション顕微鏡: C11222-16

  • 複数の検出器が選択可能
  • 多彩な用途に対応

半導体デバイスの故障に起因する発光・発熱などをとらえて故障個所を特定。ソケットボードから大型の300 mmウェーハプローバまで多彩な用途に対応します。

iphemos-mp 製品写真

iPHEMOS-MP 倒立型エミッション顕微鏡: C10506-04-16

  • 裏面解析
  • LSIテスタとの組み合わせた各種解析

半導体デバイスの裏面解析用に開発された倒立型エミッション顕微鏡。 プロービングをしながらの裏面解析やLSIテスタと組み合わせた各種解析が可能です。

themos-mini 製品写真

THEMOS mini 発熱画像解析装置: C10614-02

  • 発熱解析のエントリーモデル

半導体デバイス内部で発生する熱を高感度で検出し、パターン画像と重ね合わせて表示することにより、故障箇所を迅速に特定します。

triphemos 製品写真

TriPHEMOS ピコ秒時間分解エミッション顕微鏡

  • LSIテスタ対応

LSIの動作時に発生する微弱な光を近赤外2次元検出器で高感度に検出し、LSI内部の動作タイミングを複数点同時にピコ秒精度で解析するシステム。

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