エッチング、スパッタ、CVD等、半導体製造工程において、プラズマ発光をリアルタイムでモニタするシステムです。

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c10346-01 製品写真

プラズマプロセスモニタ: C10346-01

  • 200 nm~950 nm

プラズマプロセス中のスペクトルを広帯域で計測し、リアルタイムでモニタリンクするシステム。(測定波長範囲:200 nm~950 nm)

c10346-02 製品写真

プラズマプロセスモニタ: C10346-02

  • 300 nm~800 nm

プラズマプロセス中のスペクトルを広帯域で計測し、リアルタイムでモニタリンクするシステム。(測定波長範囲:300 nm~800 nm)

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