パルス固体レーザ

L11564-03

優れた安定性とメンテナンス性を備えた産業用途に適した組込用のナノ秒パルス固体レーザです。励起用LDが寿命により出力低下しても簡単に交換することが可能であり、レーザヘッドを装置から取り外す必要はなく、メンテナンスが容易となっています。
その他にパルス時間波形可変機能を付加し、加工条件にあったパルス波形を作り出すことも可能です。

特長

  • 中心波長:1342 nm
  • 平均出力:11 W(max.)
  • 優れたビームモード:TEM00
  • 高ビーム品質:M2<1.1
  • パルスモード:ノーマルモードまたは波形制御モード
  • パルス幅:35 ns ~ 700 ns(繰り返し周波数による)

応用

  • トリミング加工
  • アブレーション加工(リペア)
  • Siウェーハの裏面加工
  • スクライブ加工

仕様

型名 L11564-03
波長 1342 nm
平均出力 (max.) 11 W
繰り返し周波数 90 kHz
パルス幅 注1) 82 ns±7 ns
繰り返し周波数可変範囲 60 kHz ~ 120 kHz
パルスピーク安定性 注2) 10 %
平均パワー安定性 注3) ±2 % (RMS)
空間モード 注1) TEM00
ビームウエスト径 注4) φ510 μm±10 %
ビームウエスト位置 注4) 光学基準点からヘッド内側に150 mm±20 mm
偏光方向 垂直(偏光比>100:1)
動作モード 注5) パルスおよびCW
レギュレーションモード ACCおよびAPC
インターロック機能注6) あり
固体レーザヘッド外形寸法 (W × H × D) 注7) 282 mm × 60 mm × 120 mm
固体レーザヘッド質量 注8) 約3.5 kg
レーザコントローラ外形寸法 (W × H × D) 注9) 426 mm × 176 mm × 450 mm
レーザコントローラ質量 約23.8 kg

注1) 繰り返し周波数 90 kHzにおいて。
注2)1σ、繰り返し周波数 90 kHzにおいて。
注3)8時間以下。APCモードにおいて。
注4)底面(放熱面)に対して水平方向・垂直方向の平均値。繰り返し周波数 90 kHzにおいて。
注5)CW動作時は、出力・安定性・空間モード・偏光比等の規格は適用外とする。
注6)安全に対するインターロック機能は、本製品を組み込んだ最終製品にて、適切な安全対策をとること。
注7)突起部除く。励起光伝送用ファイバは着脱不可。
注8)励起光伝送用ファイバを含む。
注9)突起部およびラックマウント金具部を除く。

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