EX-PEN

世界最小クラスの組み込み型エキシマランプです。

小型軽量化により自由自在な設計が可能となり、装置の小型化・高性能化に貢献します。

特長

  • 小型軽量
  • 組み込み型
  • 水銀フリー
  • 瞬時点灯・消灯が可能

 

NOTE:特許出願中(特開2022-3622)

用途

  • 酸化分解
  • TOC測定(超純水製造など)
  • VOC分解(有害物質除去など)

  • 表面改質(細部の表面改質など)

  • オゾン生成

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