RF放電型エキシマランプ RF放電型エキシマランプ

FLAT EXCIMER

平面型ランプとRF(高周波)放電の採用により、大面積で均一な照射とちらつきの少ない安定した出力を実現したエキシマランプ光源です。

従来のコロナ放電方式・プラズマ方式に比べて、ダメージレスで粉塵の発生がありません。

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