アプリケーション | OPAL-Luxe 高ダイナミックレンジ分光器

超高ダイナミックレンジを最大限に引き出す、高感度・高波長分解能・低迷光性

OPAL-Luxeは超高ダイナミックレンジだけでなく、感度や精度の点でも優れた性能を有しています。分光器においては、F値2.2と明るい光学系を採用し、明るさと波長分解能を併せ持つ設計としたほか、迷光特性にも最大限配慮し、これまでに測定できなかった信号も検出できるようになりました。

1. 薄膜の厚み計測

左のグラフは、OPAL-Luxeで膜厚10 nm以下の極薄膜の反射率を計測した結果です。
OPAL-Luxeは、厚さ数nmの差による反射率の違いを計測することが可能で、この波形から膜厚値を算出することが可能です。右のグラフは、OPAL-Luxeと当社従来機(PMA-12)で計測した膜厚値を高精度な膜厚計測が可能なエリプソメータの測定結果と比較したものです。OPAL-Luxeはエリプソメータで計測したデータとの差が少なく、ばらつきのない計測結果を得ることができました。

2. ガリウムナイトライドのフォトルミネッセンス計測

化合物半導体ガリウムナイトライド(GaN)をヘリウムカドミウムレーザ(波長325 nm)で励起した場合のフォトルミネッセンス(PL:Photoluminescence)計測例です。弊社従来モデル(PMA-12)では検出できなかったバンド端発光と蛍光スペクトルを高いS/N で計測できました。

励起光・バンド端発光・蛍光の同時測定結果

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