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エンコーダ エンコーダ

エンコーダ

工作機械をはじめとする産業用ロボットの関節部には、正確な動作を制御するために多くのモータが使用されています。
モータの回転角度を正確に検出するために、SiフォトダイオードやLEDなどを用いた光学式エンコーダが広く利用されています。
浜松ホトニクスでは、光学式エンコーダに適したSiフォトダイオード、フォトIC、LEDなどを製造しており、カスタム対応にもお応えしています。



浜松ホトニクスのエンコーダ用フォトダイオードの特長

独自の半導体プロセス


独自の半導体プロセス技術により、エンコーダ用の受光素子に適した高感度・低ノイズ・高信頼性のフォトダイオードを製造しています。 そして、これまでに多くの産業用フォトダイオードを製造してきた実績があります。



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用途に合わせた最適感度設計


可視光から近赤外光まで、使用する光源の波長に対して高い感度を持ったフォトダイオードの製造が可能です。
光学式エンコーダに用いられるLEDに対して最適な感度設計をすることで、より高いS/Nが期待できます。



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豊富な実装技術


車載用、産業用、民生用など、多くの用途へさまざまなパッケージの製品を供給しています。
光学式エンコーダに使用するLEDとフォトダイオードを組み合わせた実装や、フォトダイオードパッケージの小型化など、さまざまな実装方法を提案しています。


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パッケージのラインアップ

COBパッケージ

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動作温度: -40 ~ +100 ℃
保存温度: -40 ~ +100 ℃
梱包方法: 1000個 / リール


チップキャリアパッケージ

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動作温度: -40 ~ +100 ℃
保存温度: -40 ~ +100 ℃
梱包方法: 100個 / トレイ、または 1000個 / リール


Siフォトダイオードへの特殊加工例(カスタム対応)


貫通穴形成(MEMS加工)

MEMS技術を応用し、Siフォトダイオードチップ上に貫通穴を形成することができます。
これにより、反射型エンコーダなどに利用される狭窄型LEDチップをSiフォトダイオードチップの穴の内部に実装することが可能です。
また、Siフォトダイオードチップの厚さを調整し、穴内部に実装したLEDの発光部の高さとSiフォトダイオードの受光部の高さを揃えることも可能です。

貫通穴の例

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LEDをSiフォトダイオードの貫通穴中に実装した例

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FOPの実装

当社製FOP(Fiber Optic Plate)をSiフォトダイオードの受光面上に実装することも可能です。
FOPをSiフォトダイオードに組み合わせることにより、FOPの厚さの分だけ通常の受光面より高い位置にレンズの焦点を合わせることができます。
このため、エンコーダのスリット板などの部品を近くに実装しやすくなります。
また、低いNAのFOPを組み合わせることにより、受光感度の指向性を調整することも可能です。

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FOP付Siフォトダイオードの例

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FOPの指向特性

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低反射率遮光膜

S/N比の向上

特殊加工により、Siフォトダイオードチップ表面のメタル配線など、受光部以外の反射率を低減させることが可能です。 反射光を減らすことにより、S/N比の向上が期待できます。

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反射率(参考値)

光学式エンコーダに使われることの多い近赤外光の反射率を大幅に低減しています。

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