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小型・高性能
2次元レーザスキャン用 電磁駆動式MEMSミラー
S13989-01H

S13989-01Hは、当社独自のMEMS*1技術を応用して作製した電磁駆動式MEMSミラーです。 X軸とY軸の2軸動作により、レーザ光などの反射による2次元スキャン (ラスタースキャン)*2を可能とします。

一般的に電磁式ミラーは、ミラーチップの周囲に磁石を配置する構成ですが、 当社のMEMSミラーは、強力な小型磁石をミラーチップ下に配置し、 小型でありながら広い光学的振れ角 (高速軸: ±20°、低速軸: ±12°)を実現しています。
また、気密封止パッケージによる高い信頼性、低電圧駆動、光学的振れ角を任意に設定できるリニア動作*3も特長としています。

マシンビジョンによる形状認識、レーザ測距、無人搬送車などの障害物検知、 レーザ走査型顕微鏡など、2次元/3次元情報を得るためのさまざまなスキャン機構に応用いただけます。


*1: Micro-Electro-Mechanical Systems
*2: 2次元画像を構成するスキャン方法。まず1次元的にスキャンして線を得て、次にその直角方向にその線をスキャンし画像を構成する。
*3: 低速軸

説明動画

主な特長

1) 小型でありながら、光学的振れ角が大きい

2) 低電圧駆動 (安全性に優れ、さまざまな機器搭載に適している)

3) 高信頼性: 気密封止パッケージ

4) リニア動作が可能 (光学振れ角を任意に設定可能)

用途例

1) マシンビジョン

2) レーザ距離計測

3) レーザ顕微鏡

ラインアップ

1次元スキャン用MEMSミラーに加えて、2次元スキャン用ミラーをラインアップに加えました。用途に応じてお選びください。

型名 S12237-03P NEW S13989-01H
写真 s12237-03p s13989-01h
タイプ 1次元スキャン用 2次元スキャン用
スキャンモード 1軸リニアスキャン 2軸ラスタースキャン
動作モード リニアモード 高速軸: ノンリニアモード (共振モード)
低速軸: リニアモード
ミラーサイズ φ2.6 mm φ1.23 mm
ミラー材質 アルミニウム アルミニウム
光学的振れ角 ±15° 高速軸: ±20°
低速軸: ±12°
駆動周波数 100 Hz max. 高速軸: 29.3 kHz typ.
低速軸: 100 Hz max.
推奨動作温度範囲 -20~+70 ℃ -20~+60 ℃

データシート

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