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高速なKTN波長可変技術を応用した
厚み計測装置向け高安定光源を新開発

2017年01月24日
  • 浜松ホトニクス株式会社
    エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社
    日本電信電話株式会社

KTN光スキャナーの仕組み

波長掃引光源外観

浜松ホトニクス(本社:静岡県浜松市、代表取締役社長:晝馬 明)、エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ(本社:神奈川県川崎市、代表取締役社長:木村 丈治、以下 NTT-AT)、および日本電信電話(本社:東京都千代田区、代表取締役社長:鵜浦 博夫、以下NTT)は、タンタル酸ニオブ酸カリウム(KTN)光スキャナーを応用した、発振波長を時間とともに周期的に変化させる高安定な波長掃引光源を新たに開発しました。今後の市場の拡大が予想されるパワーデバイス用シリコンウエハの厚み計測装置用途に、4月から浜松ホトニクスとNTT-ATの両社が国内の厚み計測装置メーカーに向けてサンプル出荷を開始します。

なお、本開発品は、1月28日(土)から2月2日(木)までの6日間、米国カリフォルニア州サンフランシスコで開催される国際会議SPIE フォトニクス・ウエスト(Photonics West)の併設展示会に出展します。

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