パルス固体レーザ

L15776-02

さまざまな微細加工に適した、高ビーム品質かつ高エネルギー、 高繰り返しの受動Qスイッチ型短パルスレーザです。基本波自動周波数制御や自動出力制御機能を搭載し、高安定な加工特性を維持することができます。内部モニタにより常時基本波出力特性などを取得でき、自己診断や故障個所の特定にも役立ちます。

特長

  • サブナノ秒パルスで高安定
  • 高ビーム品質
  • フィードバック機能を標準搭載
  • 高繰り返し周波数(段階的可変、シングルショット~50 kHz)
  • 空冷式

応用

  • 微細加工(ダイシング、穴あけ)
  • アブレーション加工(リペア、薄膜除去)

仕様

項目 L15776-01注1) L15776-02 L15776-03 単位
Min. Typ. Max. Min. Typ. Max. Min. Typ. Max.
波長 - 266 注2) - - 532 注3) - - 1064 - nm
パルス幅 注4) 注5) 0.25 0.35 0.55 0.25 0.35 0.45 0.3 0.5 0.7 ns
繰り返し周波数 注4) 47 50 53 47 50 53 47 50 53 kHz
平均出力 注3) 注4) 1.0 1.1 - 3.0 3.3 - 5.0 5.5 - W
パルスエネルギー 注4) 注5) 18 23 - 56 66 - 94 110 - μJ
M2 注4) 注5) 注6) - 1.1 1.2 - 1.1 1.2 - 1.1 1.2 -
偏光方向 水平 -
固体レーザヘッド 外形寸法(W × H × D) 約410 × 約215 × 約403(突起部除く) 約365 × 約215 × 約360(突起部除く) mm
固体レーザヘッド 質量 約27 約26 kg
レーザクラス 4 -

注1) L15776-01動作時には、乾燥空気の注入を行うこと。
注2) 532 nm、1064 nmが同時出射します。
注3) 1064 nmが同時出射します。
注4) 50 kHzで動作時。1 minの平均値。繰り返し周波数はシングルショット ~ 50 kHz/n (n=1、2…、50000)で可変。
注5) L15776-01においては長期使用により仕様値を逸脱した場合、マニュアルシフタや温度調整により特性を回復することが出来ます。
注6) ビームプロファイル測定値をガウスフィッティングして算出、水平と垂直の相乗平均値。

※本製品には、自然科学研究機構分子科学研究所平等研究室との共同出願特許(特許第4530348号 受動Qスイッチレーザ装置)が使用されています。

製品の購入やさらに詳しい情報についてはお問い合わせください。

  • 資料請求
  • 価格
  • 納期
  • カスタマイズ
  • サポート
  • その他

お問い合わせ

お問い合わせ内容によっては、回答にお時間をいただく場合やお答えできない場合がございますので、あらかじめご了承ください。