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超短パルスレーザ(MOIL-ps)

加工例

加工例

薄膜ドライエッチング

l_moil_pe1_xx

ガラス基板上ITO薄膜
超微細同時多点加工
加工レーザ波長: 515 nm

薄膜ドライエッチング

l_moil_pe2_xx

樹脂基板上ITO薄膜矩形加工
加工レーザ波長: 1030 nm

フィルム切断

l_moil_pe3_xx

ポリイミド(t=125 μm)切断
加工レーザ波長: 515 nm

高アスペクト加工

l_moil_pe4_xx

有機膜高アスペクト溝掘加工
加工レーザ波長: 515 nm

表面改質

l_moil_pe5_xx

Siウエハの反射率低減
加工レーザ波長: 515 nm

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