EX-400

L11751-01, E12499, C13128

平面長尺ランプとRF(高周波)放電の採用により、大面積で均一な照射とちらつきの少ない安定した出力を実現しました。コロナ放電方式やプラズマ方式、他のエキシマランプに比べて、高精度・高品質な改質・洗浄・接合を可能にします。

設置例

設置例

仕様

エキシマランプ L11751-01

項目 内容/値 単位
定格 180 W
発光波長 172 nm
照射強度 *1 Typ. 65 mW/cm2
ランプ設計寿命 2000 h
動作 / 保存温度範囲 +5 ~ +35 / -25 ~ +55
動作 / 保存湿度範囲 30 ~ 80 / 80 以下(結露なきこと) %
質量 220 g

*1: 弊社製紫外線積算光量計 C9536/H9535-172 で、ランプ直近にて測定したと仮定して試算した値。

エキシマランプ用ランプハウス E12499

項目 内容/値 単位
照射面サイズ(W × H) 400 × 38 mm
冷却方法 ダクト吸引による強制空冷 -
ダクト吸引風量 *2 0.35 ± 0.08 m3/min
動作 / 保存温度範囲 +5 ~ +35 / -25 ~ +55
動作 / 保存湿度範囲 30 ~ 80 / 80 以下(結露なきこと) %
質量 10.3 kg

*2: ランプハウス冷却用排気ダクトのダクト吸引風量です。

外形寸法図(単位:mm)

エキシマランプ用ランプハウス E12499

外形寸法図

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