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構造と原理 | MEMSミラー

 

構造と原理

MEMSミラーにおいては、単結晶シリコン上に金属のコイルを形成し、コイルの内側にMEMS加工によりミラーを形成し、ミラーの下に磁石を配置しています。磁石の磁界中において、ミラー周辺のコイルに電流を流すことにより、フレミングの法則によってローレンツ力が発生し、ミラーに傾きが生じます。また、MEMS加工により形成された2つのバネの組み合わせにより、ミラーを2次元に駆動することが可能です。これによりミラー面に入射したレーザ光の光路を変え、走査して投影します。電磁駆動式であるMEMSミラーは、静電式・圧電式に比べて、低電圧駆動、使いやすいことが特長です。

[図1] 構造図

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