Siフォトダイオードアレイ

S10359

高信頼性
ArFエキシマレーザモニタ用 4分割フォトダイオード

 

Siフォトダイオード S10359 は紫外線に対して高い信頼性を実現した4分割フォトダイオードです。紫外線照射に対する感度劣化が少なく、強力な紫外線光源の光軸調整やモニタなどの用途に適しています。


■特長
・ArF (λ=193 nm)エキシマレーザに対して高信頼性
・ アウトガス発生の要因となる樹脂を不使用
・大受光面サイズ: 10 × 10 mm (4分割)

 

素子数 4 (分割)
パッケージ メタル
冷却 非冷却
感度波長範囲 193~1000 nm
最大感度波長 typ. 760 nm
受光感度 typ. 0.06 A/W
暗電流 max. 500 pA
上昇時間 typ. 1 μs
端子間容量 typ. 500 pF
測定条件 指定のない場合はTyp. Ta=25 ℃, 1素子当たり (受光面サイズを除く), 受光感度: λ=193 nm

分光感度特性

外形寸法図 (単位: mm)

関連ドキュメント

製品の購入やさらに詳しい情報についてはお問い合わせください。

  • 資料請求
  • 価格
  • 納期
  • カスタマイズ
  • サポート
  • その他

お問い合わせ

お問い合わせ内容によっては、回答にお時間をいただく場合やお答えできない場合がございますので、あらかじめご了承ください。