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Optical NanoGauge 膜厚計

C10178-03J

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C10178は、分光干渉法を利用した非接触の膜厚測定装置です。分光干渉法により短時間で高感度・高精度に膜厚を測定します。また、弊社製品のマルチチャンネル分光器PMAを検出器として採用していますので、各種光学フィルタやコーティング膜などの膜厚測定と同時に、量子収率計測や反射計測、透過・吸収測定など多彩な測定項目を計測することが可能です。

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特長

  • 高速・高精度解析(150 nm~50 μmの膜厚に対応)
  • リアルタイム測定
  • 高さ変動に強い
  • 光学定数(n、k)解析
  • 外部機器から制御
  • 量子収率や反射、透過・吸収の計測が可能

仕様

型名 C10178-03J
計測モデル (特長) NIR(可視吸収サンプル対応)
測定膜厚範囲 (ガラス) 150 nm~50 μm*1
測定再現性 (ガラス) 0.05 nm*2 *3
測定精度 (ガラス) ±0.4 %*3 *4
光源 ハロゲン光源
測定波長範囲 900 nm~1650 nm
スポットサイズ 約φ1 mm*3
ワーキングディスタンス 10 mm*3
測定可能層数 最大10層
解析 FFT解析、フィッティング解析、光学定数解析
計測時間 19 ms/point*5
ライトガイドコネクタ形状 φ12スリーブ形状
外部通信機能 RS-232C、PIPE、Ethernet (オプション)
インターフェース USB 2.0
電源 AC100 V~120 V 、50 Hz/60 Hz
消費電力 約230 VA
*1 ガラス換算の屈折率を1.5で換算した場合。
*2 400 nm厚さのガラス膜測定時の標準偏差。
*3 使用する光学系または対物レンズの倍率による。
*4 VLSI Standards 測定保証書記載の測定保証範囲。
*5 最短露光時間。

外形寸法図

c10178-03 外形寸法図

 

 

a10193-02 外形寸法図

a10192-01 外形寸法図

 

 

l6758-11 外形寸法図

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