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Optical NanoGauge 膜厚計

C10323-02

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C10323は、分光干渉法を利用した顕微タイプの膜厚測定装置です。顕微鏡を用いて微小領域での測定を行うことができます。マクロ計測では、散乱光が多くて受光しにくい凸凹表面の対象も、微小エリアを計測することで散乱光を減らし測定することが可能です。

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特長

  • ミクロ計測
  • 高速・高精度解析
  • 光学定数(n、k)解析
  • 外部機器から制御

仕様

型名 C10323-02
測定膜厚範囲 (ガラス) 20 nm~50 μm*1
測定再現性 (ガラス) 0.02 nm*2*3
測定精度 (ガラス) ±0.4 %*3 *4
光源 ハロゲン光源
測定波長範囲 400 nm~1100 nm
スポットサイズ φ8 μm~φ80 μm*3
ワーキングディスタンス 17.0 mm (レンズ倍率:50倍、スポットサイズ:φ8 μm)*3
測定可能層数 最大10層
解析 FFT解析、フィッテイング解析、光学定数解析
外部通信機能 RS-232C、PIPE、Ethernet (オプション)
インターフェース USB 2.0
電源 AC100 V~120 V、50 Hz/60 Hz
消費電力 約250 VA
*1 ガラスの屈折率に相当。
*2 400 nm厚さのガラス膜測定時の標準偏差。
*3 使用する光学系または対物レンズの倍率による。
*4 VLSI Standards 測定保証書記載の測定保証範囲。

外形寸法図

c10323 外形寸法図

 

 

a10406-02 外形寸法図

a10407-01 外形寸法図

 

 

a10407-02 外形寸法図

l6758-11 外形寸法図

 

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