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Optical MicroGauge 厚み計

C11011-01W

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C11011シリーズは、レーザ干渉法を利用した厚み測定装置です。60 Hzの高速測定が可能で、生産現場でのインライン測定にも対応します。また、オプションのマッピングシステムと組み合わせ試料の厚み分布を測定することも可能です。製造工程モニタから品質管理まで、幅広い用途にご利用頂けます。

C11011-01Wは、測定膜厚範囲:25 μm~2900 μm(ガラス)、測定可能層数:1層対応モデルです。

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特長

  • 赤外光計測により、非透明(白色)サンプルに対応
  • 25 μm~2900 μmの厚みに対応
  • 60 Hzの高速測定
  • 測定可能層数 1層
  • パターン付/保護フィルム付ウェーハの測定可能
  • ロングワーキングディスタンス
  • マッピングに対応
  • 外部機器から制御

仕様

型名 C11011-01W
測定膜厚範囲 (ガラス) 25 μm~2900 μm*1
測定膜厚範囲 (シリコン) 10 μm~1200 μm*2
測定再現性 (シリコン) 100 nm*3
測定精度 (シリコン) ±0.5 μm(500 μm未満)、±0.1 %(500 μm以上)*3
光源 赤外LD(1300 nm)
スポットサイズ φ60 μm
ワーキングディスタンス 155 mm*4
測定可能層数 1層
解析 ピーク検出
計測時間 22.2 ms/point*5
外部通信機能 RS-232C、PIPE
インターフェース USB 2.0 (本体 - PC間)
電源 AC100 V~240 V、50 Hz/60 Hz
消費電力 約50 VA
*1 ガラスの屈折率に相当。
*2 シリコンの屈折率に相当。
*3 シリコン測定時の標準偏差
*4 ワーキングディスタンスが1000 mmのタイプも用意しています。(型名 C11011-01WL)
*5 最短露光時間。

外形寸法図

c11011 外形寸法図

a8653-01 外形寸法図

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