製品情報

hama hot vol.14
品質管理
浜松ホトニクスは品質改善活動に積極的に取り組んでいます。

アプリケーション

浜松ホトニクスについて

サポート

会社情報

( )

国・地域を選択してください。

PHEMOS-1000 エミッション顕微鏡

C11222-16

null

PHEMOS-1000は、半導体デバイスの故障に起因する発光・発熱などをとらえて故障個所を特定する高解像度エミッション顕微鏡です。汎用プローバと組み合わせて解析することが可能なため、使い慣れたサンプルセッティングのまま各種解析が可能です。レーザスキャンシステムのオプション搭載により、高解像度なパターン像の取得が可能です。また、発光解析や発熱解析、IR-OBIRCH解析など、様々な解析手法に対応した複数の検出器を選択することができます。ソケットボードから大型の300 mmウェーハプローバまで多彩な用途にバランスよく対応します。

半導体故障解析装置 カタログ

このページの製品に関心をお持ちの場合は、下のボタンでお気に入りリストに保存できます。

特長

  • 超高感度カメラを2台搭載可能
  • 最大3波長までのレーザ及びEOP用プローブ光源を搭載可能
  • 様々なサンプルへの対応が可能な光学ステージを搭載

オプション機能

  • レーザスキャンシステム搭載
  • 高感度近赤外カメラによる発光解析
  • 高感度中赤外カメラによる発熱解析
  • IR-OBIRCH解析
  • レーザ照射ダイナミック解析
  • EOプロービング解析
  • NanoLensによる高解像度・高感度解析
  • CADナビゲーションとの接続
  • LSIテスターとの接続

基本表示機能

スーパーインポーズ・コントラストエンハンスメント機能

PHEMOS-1000 製品特長

PHEMOS-1000では、スーパーインポーズ機能により、高解像度のパターン像に検出した信号像を重ね合わせて表示し、容易に検出箇所の部位を特定することができます。また、コントラストエンハンスメント機能により、低コントラスト像を明確な画像に改善することが可能です。

表示機能

  • アノテーション:コメント、矢印、その他の表示を画像上の任意の位置に表示します。
  • スケール表示:画像上にスケール幅を線分で表示します。
  • グリッド表示:画像上に縦横方向に等間隔のグリッド線を表示します。
  • サムネイル表示:サムネイル化した画像を蓄積保存することができ、また元の画像に再生することが可能です。
  • マルチ画面表示:4画面にパターン像、発光像、スーパーインポーズ像及び参照画像を一度に表示できます。

仕様

電源 AC200 V (50 Hz/60 Hz)
消費電力 約1400 VA
真空源 約80 kPa以上
圧縮空気 0.5 MPa~0.7 MPa
外形寸法/質量 本体:1340 mm(W)×1200 mm(D)×2110 mm(H)、約1500 kg
制御ラック:880 mm(W)×820 mm(D)×1542 mm(H)、約150 kg
制御デスク:1000 mm(W)×800 mm(D)×700 mm(H)、約45 kg
※ PHEMOS本体の質量は、プローバ相当を含めた値です。

製品の購入やさらに詳しい情報についてはお問い合わせください。

  • 資料請求
  • 価格
  • 納期
  • カスタマイズ
  • デモ依頼
  • サポート
  • その他

お問い合わせ

お問い合わせ内容によっては、回答にお時間をいただく場合やお答えできない場合がございますので、あらかじめご了承ください。