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MEMS-FPI分光センサ

C13272-02

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MEMSチューナブルフィルタと受光素子を一体化した近赤外用の超小型分光センサ、
バンドパスフィルタ内蔵

MEMS-FPI分光センサは、印加電圧により透過波長を可変できるMEMS-FPI (Fabry-Perot Interferometer: ファブリペロー干渉計)チューナブルフィルタとInGaAs PINフォトダイオードを1パッケージに収めた超小型センサです。感度波長範囲は1550~1850 nmであり、プラスチックや溶液中の物質の識別用などの小型機器への組み込みに適しています。


■特長
・感度波長範囲以外をカットするバンドパスフィルタ内蔵
・当社製InGaAs PINフォトダイオードの単素子チップ内蔵
・感度波長範囲: 1550~1850 nm
・超小型: TO-5パッケージ
・超軽量: 1 g
・ハーメチックパッケージ: 高湿度に対して高信頼性を実現
・サーミスタ内蔵

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外形寸法図 (単位: mm)

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