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hama hot vol.14
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Thermal F1 エミッション顕微鏡

C14229-01

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Thermal F1エミッション顕微鏡は、省スペース型の発熱画像解析装置です。半導体パッケージや基板などのマクロ視野観察から半導体チップのミクロ視野観察まで対応し、欠陥に起因して発生する熱を高感度で検出することで故障箇所を特定します。

半導体故障解析装置 カタログ

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特長

高感度

発熱解析専用カメラとロックイン解析機能を組み合わせた高感度な発熱解析

波長3.7 μm~5.2 μmを検出するカメラと変調した電源電圧に同期した 信号のみを抽出するロックイン解析機能を組み合わせたノイズ低減方式に より、発熱解析の高感度化を実現しました。

広視野

対物レンズの視野を越える大きな対象でも観察可能

一定幅で位置を移動させながら撮像し、それらの画像データを一つに連結 させる自動ステッチング機能の活用で、簡単な操作かつ広視野な発熱解析 が可能となりました。

多用途

サンプルステージの柔軟な選択

光学系下のスペースを拡大することにより、プロービング対象に応じて多種のサンプルステージが搭載可能となりました。

用途

  • メタル配線間のショート部検出
  • コンタクトの抵抗異常部検出
  • 酸化膜の破壊箇所検出
  • デバイス内の温度分布観察

仕様

電源 AC200 V ~ 240 V ±10 % (50 Hz/60 Hz)
真空源 80 kPa以上 (外径6 mmホース)プローバ搭載時
圧縮空気 0.5 MPa ~ 0.7 MPa( 外径6 mmホース)
外形寸法/質量(本体) 960 mm×980 mm×1800 mm、 約500 kg
外形寸法/質量(デスク) 1000 mm×800 mm×700 mm、 約60 kg

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