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MEMS-FPI分光センサ

C14273

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MEMSチューナブルフィルタと受光素子を一体化した近赤外用の超小型分光センサ、
バンドパスフィルタ内蔵

MEMS-FPI分光センサ C14273は、印加電圧により透過波長を可変できるMEMS-FPI (Fabry-Perot Interferometer: ファブリペロー干渉計)チューナブルフィルタとInGaAs PINフォトダイオードを1パッケージに収めた超小型センサです。感度波長範囲は1750~2150 nmであり、物質の吸光度などの簡易計測用小型機器への組み込みに適しています。


■特長
・当社製InGaAs PINフォトダイオードの単素子チップ内蔵
・感度波長範囲: 1750~2150 nm
・超小型: TO-5パッケージ
・超軽量: 1 g
・ハーメチックパッケージ: 高湿度に対して高信頼性を実現
・サーミスタ内蔵
・感度波長範囲以外をカットするバンドパスフィルタ内蔵

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仕様

感度波長範囲 1750~2150 nm
波長分解能 (半値幅) max. 22 nm
暗電流 max. 150 nA
検出素子受光面サイズ φ0.3 mm
バンドパスフィルタ 内蔵
パッケージ TO-5
備考 指定のない場合はTyp. Ta=25 ℃

外形寸法図 (単位: mm)

KACCA0416

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