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近赤外CCDカメラ

C3077-80

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 近赤外領域に高い感度を持つCCDカメラです。当社CCD素子を採用し、近赤外の波長領域に高い感度を有しています。従来お使いいただいている当社近赤外用CCDカメラと寸法、出力仕様はそのままに、感度を向上させました。

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特長

  • 近赤外領域で高感度
  • EIA出力

用途

  • Siウェーハ/デバイス位置合わせ
  • COG位置合わせ
  • Siデバイス内部検査
  • セラミック基板検査

仕様

型名 C3077-80
撮像素子 2/3型フレームトランスファCCD
有効画素数 648(H)×484(V)
画素サイズ 14 μm(H)×14 μm(V)
有効撮像エリア 9.0 mm(H)×6.8 mm(V)
レンズマウント Cマウント
信号方式 EIA-RS170A方式に準拠
水平/垂直周波数 15.734 kHz/59.94 Hz
トリガモード 内部/外部
外部同期信号 HD/VD(信号レベル:TTLレベル)
映像出力 1.0 Vp-p、負同期、75 Ω不平衡
アナログゲイン AGC/標準/可変
電源 DC+12 V
消費電力 約4.5 VA
保存周囲温度 -10 ℃~+50 ℃
動作周囲温度 0 ℃~+40 ℃
動作周囲湿度 70 %以下(ただし結露しないこと)

分光感度特性

c3077-80 分光感度グラフ

外形寸法図

c3077-80 外形寸法図

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