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X線ダイレクト型CCDカメラ

C8000-30D

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C8000-30Dは、シンチレータを使用せず、EUVや軟X線をCCDへダイレクトに入射して撮像するカメラです。CCDに高エネルギーの光を入射することにより、素子上で多くの電荷が発生するため、高感度な検出が可能です。
背面照射型CCDの採用により、20 eV~10 keVまでのエネルギー範囲に対応します。

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用途

  • X線顕微鏡
  • X線分光法
  • マイクロCT
  • EUVリソグラフィ
  • X線エネルギー分析

応用例

c8000-30D 応用例1

蜂のX線ダイレクトによる透過画像

従来のX線撮像法と比べ、解像度とダイナミックレンジが大幅に改善されています。

c8000-30D 応用例2

ヒトHeLa細胞

λ=15 Å (826.6 eV)、ピンホール: 1 μm、プレピンホール: 100 μm

※画像提供:東海大学 工学部 原子力工学科 伊藤 敦 教授

c8000-30D 応用例3

Fe-55の1pixelの事象(3 %抽出)

 

仕様

型名 C8000-30D
撮像素子 2/3型背面照射フレームトランスファーCCD
有効画素数 640(H)×480(V)
画素サイズ 14 μm(H)×14 μm(V)
有効素子サイズ 8.96 mm×6.72 mm
飽和電荷量 30 000 electrons
読み出し速度 31.4 フレーム/秒
読み出しノイズ 100 electrons(typ.)
冷却温度 +5 ℃(周囲温度:+20 ℃)
インターフェース Camera Link
A/Dコンバータ 12 bit

外形寸法図

c8000-30D 外形寸法図

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