高輝度・高効率なレーザー励起プラズマ光源 Laser-Driven Light Source (LDLS^®)
「第16回レーザー学会産業賞」優秀賞受賞

浜松ホトニクス株式会社

2024年4月、受賞題目「高輝度・高効率なレーザー励起プラズマ光源 Laser-Driven Light Source (LDLS®) 」に対し、当社及びEnergetiq Technology, Inc.は、一般社団法人レーザー学会主催の「第16回レーザー学会産業賞」にて「優秀賞」を受賞しました。

本賞は、レーザに関する製品・技術の開発、実用化、普及などにおいて、日本国内のレーザ関連産業の発展に貢献しうるものに対し授与される賞です。特に今回受賞した「優秀賞」は、レーザ関連の産業技術として技術および市場実績を重視して授けられる賞となります。第16回では、7件が産業賞を受賞し、当社を含めた3件が「優秀賞」を獲得しています。

受賞理由（レーザー学会ウェブサイトより引用）

両社は，独自のレーザー駆動プラズマ光源技術により，真空紫外から赤外線までの幅広いスペクトルと小型で高輝度なプラズマ生成を実現しました．これは従来のアークランプによる電極間の放電を利用した方式に比べ，電極間の放電は点火時にしか必要としない特長があります．プラズマ発生後は集光された連続波レーザーのみによってプラズマを維持することが可能となり，高い放射輝度の広帯域光，優れた空間安定性，および非常に長い装置寿命を提供する優れた製品です．また，既に沢山のユニットが半導体製造工程に活用がされており，今後の更なる発展が期待されることから，優秀賞に選定しました．

引用元：

https://www.lsj.or.jp/2024-industry-award-jp/

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レーザ励起プラズマ光源 LDLS

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レーザ励起プラズマ光源（LDLS：Laser-Driven Light Source）は浜松ホトニクスの子会社であるEnergetiq Technology, Inc.(米国)が開発した新しい光源です。キセノンガスを充填したバルブ内の放電電極間に、集光したレーザ光でプラズマを発生させて発光を維持する方式を採用した世界で唯一の光源です。