半導体製造関連機器 半導体製造関連機器

半導体製造関連機器

半導体製造工程の中でプラズマを使用するエッチング、スパッタ、CVD等において、プロセス中のプラズマ発光を広帯域にリアルタイムでモニタするシステムです。

ステルスダイシング™技術は、レーザを用いた全く新しい概念のレーザダイシング技術です。「完全ドライプロセス」「切削ロスゼロ」「チッピングレス」「高い抗折強度」などの特長により、MEMSデバイスやメモリデバイスなど、適応デバイスは拡大しています。

ウェーハ上に形成されたマイクロLEDチップの良否を、パターン像およびフォトルミネッセンス(PL)像を用いて短時間に検査するシステムです。

半導体デバイス内部の故障に起因する微弱な発光・発熱等を検出しその位置を特定するシステムです。

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