関連製品 | 真空紫外(VUV)光源ユニット

真空紫外光によるイオン生成方式「Photoionization(光イオン化)」を採用した静電気除去装置です。 真空紫外光の特性を生かした革新的な方式は、これまで不可能であった真空中(減圧下)での静電気除去を実現します。

真空フランジ

専用の真空フランジを取り揃えています。

仕様

項目 E3444
(一般仕様)
E3444-01
(JIS VF50)
E3444-02
(ICF114)
単位
適合フランジ - (*1) JIS VG50 ICF114
気密方法 Oリング Cuガスケット
リーク量 1 x 10-10 Pa m3/s (*2)

*1: E3444の形状に合うフランジをお客様でご用意ください。

*2: Heリークディテクタで確認した結果です。

外形寸法図(単位:mm)

E3444

E3444-01

E3444-02

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