厚み/膜厚計測装置

FAQs | 厚み/膜厚計測装置

測定に適した材料、測定できない材料について教えてください。

光を通す材料であれば、基本的に測定可能です。

100 nm以上の金属膜など光を通さないサンプルの測定は困難です。(50 nm以下の測定は実績あり)また、光が散乱しやすいサンプルも測定が困難です。

ヘイズ率等の詳細スペックについては、弊社までご相談ください。

どのような用途に使用されていますか?

半導体、FPD、フィルムなどの製造工程の検査(膜厚管理)を主として、インライン・オフラインで採用されています。

測定可否の確認のため、デモ測定を行いたいのですが可能でしょうか?

お客様のサンプルを用いたデモ測定に対応しています。

Optical Gaugeシリーズのデモ機を用意いたしますので、弊社までご相談ください。

Optical Gaugeの厚み測定結果の確認は、どのように実施していますか?

弊社では、第3者機関が厚みを保証するサンプルを測定し、その基準値と測定結果を判断し厚み確認を行っています。

なお、申し訳ございませんが、弊社で値の確認ができないサンプルにつきましては、保証は致しかねます。

どのくらいの精度で測定が可能でしょうか?

絶対精度には、材料の光学定数(屈折率と吸収係数)が関わってきます。

この光学定数が正しければ、絶対厚の精度が高まります。弊社では、第3者機関であるVLSI Standardsの測定保証書記載の保証範囲を測定精度としています。また、再現性に関しては、石英ガラス400 nmのサンプルで標準偏差が0.02 nmとなります。

高さ変動に強いとありますが、どのくらいでしょうか?

数mmの変動に対応することが可能です。

詳細は、メリットのページのデフォーカス依存性をご覧ください。

納品後の相談・連絡はどのような内容が多いですか?

ハードウエアの修理相談は比較的少なく、ソフトウエアを含めた解析部分、特にレシピ設定についての相談が多いです。

この点に関しましては、簡易レシピ設定の機能があり、お客様でも設定することが可能です。

自動測定は可能でしょうか?

Optical Gaugeシリーズの製品は、外部通信機能により自動測定に対応しています。C15151-01、C13027では、電気的な入力・出力信号による測定制御が可能ですので、シーケンサ接続も容易に行えます。

サンプルとセンサの距離を長くした測定は可能でしょうか?

通常測定では、サンプルとセンサの距離は10 mm以下となりますが、35 mmのワーキングディスタンスに対応した光学系も準備しています。

製品の購入やさらに詳しい情報についてはお問い合わせください。

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