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波長検出技術 | マイクロLED PL検査装置

高速にエリアでの波長を計測する「λ-Capture」テクノロジー

λ-Captureは、分光器を用いず、波長を測定できる新しい波長検出技術です。

ウェーハ面全体の分光計測を行う場合、通常の分光器でのポイント計測や、イメージング分光器でのライン計測では膨大な時間がかかります。 

λ-Captureは、高感度カメラを用いて、エリアでの波長を計測できるため、高速にウェーハ全面の分光計測が可能です。

マイクロLEDのPL強度分布と波長分布を短時間で同時に評価する本技術を用いることで、ディスプレイの波長管理を行うことができます。

「λ-Capture」テクノロジー

計測原理

λ-Captureには2台の高感度カメラとLRG ダイクロイックミラーを使用します。透過光量と反射光量の光強度が同じときが、ダイクロイックミラーの中心波長となります。LEDの発光波長が長波長側にシフトしている場合、透過光量が大きくなり、短波長側にシフトすれば反射光量が大きくなります。

2台の高感度カメラでダイクロイックミラーを通過した光量をそれぞれ計測することで、光量の和から強度を、差から波長を1度の計測で行うことができます。

計測原理

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