LCOS-SLM(空間光位相変調器)X15223シリーズ

手軽に産業分野などに応用できるよう、小型・低価格化した装置組み込み型のLCOS-SLMです。

X15212シリーズでは、さまざまな波長のニーズに対応した12のラインアップを用意しています。高効率な位相変調をするため、全タイプにおいてガラス基板には反射防止膜・CMOSチップにはミラーが形成されています。ミラーの種類によって、アルミミラータイプと誘電体多層膜ミラータイプに大別されるほか、ヘッド部に水冷ヒートシンクを内蔵した水冷タイプの3タイプを用意しています。

 

●アルミミラータイプ (-01/-07/-08)

CMOSチップ上のアルミ電極による反射を利用しており、広域の反射帯を有するため幅広い波長範囲で使用できます。

 

●誘電体多層膜ミラータイプ (-02/-03/-05/-12/-13/-15/-16/-19)

レーザ波長に合わせて専用設計した誘電体多層膜が形成されています。アルミミラータイプと比較して高反射率を実現したことで素子内部での吸収が低減されるため、ハイパワーレーザにも対応することが可能です。

 

●水冷タイプ (02L/-02R/-03L/-03R/-03BL/-03BR/-12L/-12R/-15L/-15R/-16L/-16R/-19L/-19R)

誘電体多層膜ミラータイプのヘッド部に水冷ヒートシンクを内蔵し、レーザ照射による温度上昇を抑制して、耐光性を向上させています。

対応波長範囲

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