厚み/膜厚計測装置

厚み/膜厚計測装置

非接触・高精度で厚みを測定するシステムです。ナノオーダの薄膜測定を対象にしたOptical NanoGaugeとマイクロオーダでの厚み測定を対象にしたOptical MicroGaugeの2つのシリーズを用意しています。

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測定膜厚範囲(ガラス):ガラスの屈折率を1.5で換算した場合
測定膜厚範囲(シリコン):シリコンの屈折率を3.67で換算した場合
測定速度(最速)
特長

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デモ測定のご案内

浜松ホトニクスでは、厚み/膜厚計測装置を用いたデモ測定を行っております。弊社内のデモルームにて、専門エンジニアと共に、国内外のお客様との共同研究やサンプルをお預かりしての実験、購入前の実機検討などに幅広くご利用いただけます。

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