厚み/膜厚計測装置 厚み/膜厚計測装置 製品写真

用途例・測定例 | 厚み/膜厚計測装置

厚み/膜厚計の用途例

半導体

ウェーハ上の膜厚測定

フォトレジスト膜など、各種プロセスで塗布・加工された膜厚を高精度に測定し、均一な成膜状態を確認します。当社膜厚計は幅広い膜厚・厚みの測定に対応し、高輝度・短波長の光源を採用することで、極薄膜の測定も可能です。

  • SiO2、SiC膜、Si膜、TiO2 など 金属酸化膜
  • 窒化膜、ウェット状態の膜、レジスト膜
  • シリコン残膜厚、光ディスク、DLC、カーボン

ウェーハ上の膜厚測定

成膜プロセス中のIn-situ測定

成膜中にリアルタイムで膜厚を監視し、膜厚のばらつきを抑制できているかを確認します。当社膜厚計はライトガイド1本の設置で省スペース計測を実現。光学系を採用することで長距離ワーキングディスタンスに対応し、各種プロセスでの幅広い膜厚測定が可能です。

  • SiO2、Si膜など 金属酸化膜

成膜プロセス中のIn-situ測定

ウェーハ厚み測定

各種プロセスで塗布・加工された膜厚を測定し、均一に成膜されているかを確認します。当社膜厚計は775 μmのSiウェーハから10 μmの薄膜まで1台で対応。さらに60 Hzの高速測定により、工程中のリアルタイム測定を可能にします。

  • SiC、Si膜、ウェット状態の膜
  • シリコン残膜厚

ウェーハ厚み測定

その他

コーティングフィルム、プラスチックフィルム、物体色測定

  • AR膜、PET、コーティング層
  • PE、PMMA
  • 塗布膜、蒸着膜、機能性フィルム
  • Agナノワイヤー、アクリル樹脂、ビデオヘッド

フィルム測定

フラットパネルディスプレイの膜厚、色測定

  • セルギャップ、有機EL膜、配向膜、TFT
  • Agナノワイヤー、ガラス基板上のITO、MgO、レジスト膜、ポリイミド
  • FPD用高機能フィルム、カラーフィルム

コーティングフィルム、プラスチックフィルム、物体色測定

厚み/膜厚計の測定例

透明電極ITO膜(350 nm)の干渉スペクトル測定例

測定された反射率と理論値の反射率の差の二乗が最も小さくなる膜厚値を求めます。

透明電極ITO膜(350 nm)の干渉スペクトル測定例

エタロン(30μm)測定例

エタロン(30μm)測定例

図1:エタロンの測定例

エタロン(30μm)測定例をフーリエ変換したもの

図2:図1をフーリエ変換したもの

標準酸化膜(400 nm)測定例

標準酸化膜(400 nm)測定例

パターン付きウェーハ / 貼り合わせウェーハ / In-situモニタリング例(厚み計測データ)

パターン付きウェーハ / 貼り合わせウェーハ / In-situモニタリング例(厚み計測データ)

パターン付きウェーハ / 貼り合わせウェーハ / In-situモニタリング例(厚み計測データ)

パターン付きウェーハ / 貼り合わせウェーハ / In-situモニタリング例(厚み計測データ)

ウェーハの膜厚分布測定

浜松ホトニクスのHyperGauge 面内膜厚計、Optical Gaugeシリーズ(マッピングステージオプション付き)で、ウェーハ全体の厚み分布を高精度に測定すること可能です。用途や厚みに応じて最適なラインアップをご提案します。詳しくはお問い合わせください。

ウェーハの膜厚分布測定

ウェーハの膜厚分布測定

デモ測定のご案内

浜松ホトニクスでは、厚み/膜厚計測装置を用いたデモ測定を行っております。弊社内のデモルームにて、専門エンジニアと共に、国内外のお客様との共同研究やサンプルをお預かりしての実験、購入前の実機検討などに幅広くご利用いただけます。

また、最適な製品の紹介だけでなく、長年のビジネスで培った経験をもとに、測定のコツやノウハウも含めた最適なソリューションを提案いたします。お気軽にお問い合わせください。

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