低エネルギー電子線照射源 EB-ENGINE 低エネルギー電子線照射源 EB-ENGINE

低エネルギー電子線照射源

電子線照射源EB-ENGINEは、フィラメントから生じた熱電子を高電圧で加速してエネルギーを高め、窓箔からその電子線を大気中に取り出します。低エネルギー化により、従来の高エネルギー照射源では解決できない設備導入の難しさを小型・軽量化により容易にしました。

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