製造工程支援機器 製造工程支援機器

製造工程支援機器

非接触・高精度で厚みを測定するシステムです。ナノオーダの薄膜測定を対象にしたOptical NanoGaugeとマイクロオーダでの厚み測定を対象にしたOptical MicroGaugeの2つのシリーズを用意しています。

光学式のピンホール検査ユニットです。従来検出が困難であった極微小なピンホールを高速かつ高精度に検出可能です。今後ますます高まるであろう微小ピンホール検出への要求に応える装置です。

UV印刷・UV接着・UVコーティングなど、さまざまなアプリケーションに適した独自空冷方式採用の高出力UV-LED光源です。照射エリア・波長・照射強度などから最適な製品をお選びいただけます。

表面改質やドライ洗浄をはじめ、酸化分解やTOC低減・VOC分解に貢献するRF(高周波)放電のエキシマランプ光源です。 製品サイズや照射エリアなどから最適な製品をお選びいただけます。

電子線照射源EB-ENGINEは、フィラメントから生じた熱電子を高電圧で加速してエネルギーを高め、窓箔からその電子線を大気中に取り出します。低エネルギー化により、従来の高エネルギー照射源では解決できない設備導入の難しさを小型・軽量化により容易にしました。また、近年ニーズが急速に高まっている薄膜や材料表面のみへの処理に対して高効率化を実現します。

熱加工用途に最適な半導体レーザ応用製品です。

クリーンなイオン生成方式「Photoionization(光イオン化)」を利用した除電装置です。光により空気中の原子/分子( 真空中であれば残留原子/分子)を直接イオン化させて除電するため除電効率が極めて高く、従来困難であった「対象物」や「環境」での除電も瞬時に行うことができます。

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