VUVイオナイザ VUVイオナイザ

静電気除去装置 VUV Ionizer

真空紫外光によるイオン生成方式「Photoionization(光イオン化)」を採用した静電気除去装置です。 真空紫外光の特性を生かした革新的な方式は、これまで不可能であった真空中(減圧下)での静電気除去を実現します。

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