除電原理・特長 | VUV Ionizer：静電気除去装置

真空紫外光によるイオン生成方式「Photoionization(光イオン化)」を採用した静電気除去装置です。真空紫外光の特性を生かした革新的な方式は、これまで不可能であった真空中(減圧下)での静電気除去を実現します。

VUV Ionizer：静電気除去装置の除電原理・特長をはじめ、装置への取り付け例や静電チャックにおける使用例について紹介していますので、ご覧ください。

静電気を確実に取り除く。真空紫外光だからこそ可能な真空中（減圧下）での静電気除去。

真空紫外光によるイオン生成方式「Photoionization（光イオン化）」を採用した静電気除去装置です。真空紫外光の特性を生かした革新的な方式は、これまで不可能であった真空中（減圧下）での静電気除去を実現します。

160 nm以下の高エネルギー真空紫外光は、高い除電性能を誇り、製造工程における静電気問題を解決します。

除電原理：「Photoionization（光イオン化）のメカニズム」

真空紫外光を照射することにより、真空中（減圧下）にある残留原子 / 分子から電子がはじき出て、その原子 / 分子は”＋（プラス）”のイオンになります。また、はじき出た電子は他の残留原子 / 分子と結合し”－（マイナス）”のイオンになります。真空紫外光を照射すると照射空間全体で同時多発的に電子・イオンが生成され、その後対象物近くで生成された電子・イオンが静電気に引き寄せられ、静電気を除去します。その他の生成された電子・イオンは元の残留原子 / 分子に戻ります。

高い除電性能で、低真空度から高真空度まで対応これまであきらめていた静電気問題を根底から払拭します。

放電現象を利用した従来のコロナ放電式除電器の場合、その除電原理より真空中（減圧下）での除電が不可能でした。
VUV Ionizerを真空フランジを介して真空チャンバに接続した上で真空紫外光を照射して真空中（減圧下）にある残留原子 / 分子を直接イオン化することにより、低真空度から高真空度まで対応した確実な除電を可能にします。