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除電原理・特長 | 静電気除去装置 VUV Ionizer

静電気除去装置 VUV Ionizerの除電原理・特長をはじめ、装置への取り付け例や静電チャックにおける使用例について紹介していますので、ご覧ください。

静電気を確実に取り除く。 真空紫外光だからこそ可能な真空中(減圧下)での静電気除去。

真空紫外光によるイオン生成方式「Photoionization(光イオン化)」を採用した静電気除去装置です。真空紫外光の特性を生かした革新的な方式は、これまで不可能であった真空中(減圧下)での静電気除去を実現します。

160 nm以下の高エネルギー真空紫外光は、高い除電性能を誇り、製造工程における静電気問題を解決します。

除電原理:「Photoionization(光イオン化)のメカニズム」

真空紫外光を照射することにより、真空中(減圧下)にある残留原子 / 分子から電子がはじき出て、その原子 / 分子は”+(プラス)”のイオンになります。また、はじき出た電子は他の残留原子 / 分子と結合し”-(マイナス)”のイオンになります。真空紫外光を照射すると照射空間全体で同時多発的に電子・イオンが生成され、その後対象物近くで生成された電子・イオンが静電気に引き寄せられ、静電気を除去します。その他の生成された電子・イオンは元の残留原子 / 分子に戻ります。

高い除電性能で、低真空度から高真空度まで対応 これまであきらめていた静電気問題を根底から払拭します。

放電現象を利用した従来のコロナ放電式除電器の場合、その除電原理より真空中(減圧下)での除電が不可能でした。
VUV Ionizerを真空フランジを介して真空チャンバに接続した上で真空紫外光を照射して真空中(減圧下)にある残留原子 / 分子を直接イオン化することにより、低真空度から高真空度まで対応した確実な除電を可能にします。

静電気を確実に取り除きます

 

真空紫外光の照射空間全体がイオン生成範囲であり、真空紫外光の照射中は常時イオンが生成されているため、高いイオン濃度を実現しています。高イオン濃度による高い除電性能で対象物の静電気を0 V にします。

逆帯電を気にする必要はありません

 

“+(プラス)”イオンと”-(マイナス)”のバランスが均等であるため、逆帯電が起こりません。また、それぞれのイオン供給量の調整が一切必要ありません。

逆帯電は、生成したイオンにより、対象物に対して逆に静電気を与えてしまう現象です。

送風が不要で、対象物に悪影響がありません

 

対象物近くでも電子・イオンが生成され、その電子・イオンが静電気に引き寄せられて直接静電気を除去するため、送風が不要でパーティクルの発生・舞い上がりやそれらに伴う対象物への悪影響がありません。

真空紫外光の照射による対象物への影響は別途ご確認ください。

塵の発生がないクリーンな設計

 

Photoionization(光イオン化)を採用したことにより、塵や電磁ノイズの発生が一切ないクリーンな除電を可能にします。塵による異物不良の発生や電磁ノイズによる周辺機器の誤作動などの問題がありません。

長寿命で長期にわたり使用可能

 

完全自社生産の高品質・高精度な重水素ランプを内蔵しています。重水素ランプの高安定・長寿命といった特性により、長期にわたり安定した真空紫外光の照射が可能です。

低真空から高真空まで対応可能

低真空から高真空まで対応可能

 

低真空度から高真空度まで、幅広い真空度に対応した除電が可能です。また、不活性ガス雰囲気など、特殊環境下における除電にも対応しています。

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