厚み/膜厚計測装置 厚み/膜厚計測装置 製品写真

測定方式の違い | 厚み/膜厚計測装置

エリア方式とポイントセンサ方式の比較

エリア方式とポイントセンサ方式の比較

  • 5秒で面内膜厚分布の取得が可能※1
  • 測定結果から測定点の選定が可能
  • 位置合わせや測定に必要な機構が不要
  • インラインに対応※2

※1 300 mm Siウェーハの面内膜厚分布を取得した際の目安時間です。

※2 詳細はご相談ください。

エリア方式とポイントセンサ方式の比較

  • 広波長に対応
  • 多層構造でも高い精度で測定が可能
  • 小型でインラインへの組み込みが安易

デモ測定のご案内

浜松ホトニクスでは、厚み/膜厚計測装置を用いたデモ測定を行っております。弊社内のデモルームにて、専門エンジニアと共に、国内外のお客様との共同研究やサンプルをお預かりしての実験、購入前の実機検討などに幅広くご利用いただけます。

また、最適な製品の紹介だけでなく、長年のビジネスで培った経験をもとに、測定のコツやノウハウも含めた最適なソリューションを提案いたします。お気軽にお問い合わせください。

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