LCOS-SLM(空間光位相変調器) X15213シリーズ

LCOS-SLMは、光の位相を自由に変調する反射型の空間光位相変調器です。レーザなどの照射光は、液晶により位相変調された後反射され、その波面形状を自由に制御することができます。光の波面制御により、光ビームパターン成形や収差補正等への応用が可能です。

X15213シリーズでは、さまざまな波長のニーズに対応した12のラインアップを用意しています。高効率な位相変調をするため、全タイプにおいてガラス基板には反射防止膜・CMOSチップにはミラーが形成されています。ミラーの種類によって、アルミミラータイプと誘電体多層膜ミラータイプに大別されるほか、ヘッド部に水冷ヒートシンクを内蔵した水冷タイプの3タイプを用意しています。

 

●アルミミラータイプ (-01/-07/-08)

CMOSチップ上のアルミ電極による反射を利用しており、広域の反射帯を有するため幅広い波長範囲で使用できます。

 

●誘電体多層膜ミラータイプ (-02/-03/-05/-12/-13/-15/-16/-19)

レーザ波長に合わせて専用設計した誘電体多層膜が形成されています。アルミミラータイプと比較して高反射率を実現したことで素子内部での吸収が低減されるため、ハイパワーレーザにも対応することが可能です。

 

●水冷タイプ (02L/-02R/-03L/-03R/-03BL/-03BR/-12L/-12R/-15L/-15R/-16L/-16R/-19L/-19R)

誘電体多層膜ミラータイプのヘッド部に水冷ヒートシンクを内蔵し、レーザ照射による温度上昇を抑制して、耐光性を向上させています。

対応波長範囲

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