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空間光位相変調モジュール

用途例

・光ビーム成型

・光マニュピレーション

・収差補正、補正光学

・光渦(Optical vortex)

・リペア/トリミング

集光位置を複数回走査する従来法と比較して加工効率を向上させることが可能となるため、LCDパネルのリペア等に有効です。

・3次元一括多点生成

立体的な多点を生成することにより、凹凸のある材料の加工や透明材料内部の多層同時加工が可能です。
技術提供: 京都大学大学院 三浦研究室 次世代レーザープロセッシング技術研究組合 坂倉政明博士

・多光束干渉を用いた多点一括微細加工

波面制御技術により複数本に分岐されたレーザ光を集光することで、加工サンプル上で生じる多点光束干渉により、波長オーダの多穴を同時に加工することが可能です。

ITO薄膜除去矩形加工例

l_wavefront_shaper_app1_xx

マーキング例

l_wavefront_shaper_app2_xx

多点一括微細加工例

l_wavefront_shaper_app3_xx

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