レーザ励起プラズマ光源 LDLS

EQ-77-QZ-S

高出力タイプのレーザ励起プラズマ光源で、スタンダードモデルのEQ-99Xに比べて約3倍の放射輝度です。高出力タイプのため、ランプヘッドの窒素パージと水冷用チラー接続が必要です。

特長

  • 広波長域:170 nm~2500 nm
  • 長寿命:10 000時間
  • 高輝度点発光

分光放射輝度

LDLS

仕様

 

項目 内容/値 単位
出力方法*1 拡散照射(シングルビーム)
波長範囲 170 ~ 2500 nm
プラズマサイズ (FWHM) 平均値 125 × 320 μm
拡散角度 NA 0.5
バルブ寿命*2 代表値 10 000 h
ウォームアップ時間 30 min
レーザクラス Class 1
分光放射輝度(at 500 nm) 平均値 75 mW/mm2·sr·nm
放射束 平均値 2.75 W
出射窓サイズ Φ22 mm
窓材*3 石英
冷却方法 水冷*4*5
窒素パージ Grade 3以上, filtered to 5 μm. 138 kPa ±13.8 kPa
適合規格 EN 61010-1
EN 61326-1
IEC 60825-1
IEC 62471
EN 50581
装置構成 ランプヘッド、電源コントローラ、リモコン、各種ケーブル
定格 入力電圧(AC) 100 ~ 240 V
電源周波数 50 / 60 Hz
消費電力 350 W

*1 オプションでデュアルビーム方式も選択可能です。

*2 汚れや使用状況によっては、窓の交換が必要な場合もございます。

*3 オプションでYAG(190 nm ~ 2500 nm)、BK7(350 nm ~ 2500 nm)も選択可能です。

*4 水冷条件 ランプヘッド: ≧0.5 L/min, 18℃~ 30 ℃, 0.69 MPa (100 psiG) max. inlet pressure、 コントローラ: 冷却不要

*5 チラーキットはオプションとなります。

外形寸法図(単位:mm)

ランプヘッド

LDLS

電源コントローラ

LDLS

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