FLAT EXCIMER

EX-86U

小型軽量化・電源内蔵によるオールインワン化により、設置場所を選ぶことなく、簡単に製造工程に導入できるようになりました。

仕様

エキシマランプ光源 L13129-□□ (*1)

項目 内容 / 値 単位
窓材質 石英ガラス
照射窓サイズ 86 × 40 nm
ピーク波長 172 nm
紫外線照射強度 (*2) Min. 50 mW/cm2
ランプ保証寿命 (*3) 1000 h
ランプ設計寿命 2000 h
リプレイスランプ(別売) L12681
入力電圧(DC) 100 V ~ 240 V、単相 50 Hz / 60 Hz
消費電力 Max. 150 VA
冷却方式 内蔵ファンによる強制空冷
動作温度範囲 +5 ℃ ~ +35 ℃
保存温度範囲 -5 ℃ ~ +55 ℃(氷結なきこと)
動作湿度範囲 30 % ~ 80 %(結露なきこと)
保存湿度範囲 80 %以下(結露なきこと)
外部制御 点灯制御、点灯信号、各種アラーム・エラー信号
通信制御 点灯制御、点灯信号、点灯積算時間表示、各種アラーム・エラー信号
適合規格 EMC規格 IEC 61326-1
Emission limits: CISPR 11 Group 2 Class A
Immunity requirements: Table 2
安全性規格 IEC 61010-1/A1
IEC 62471 Risk Group 2

*1: 型名の「□」の部分はACケーブルの仕様別のサフィックスとなります。

   C1:日本向け/C2:米国向け/C3:欧州向け

*2: 弊社製紫外線積算光量計 C9536, H9535-172にてランプ直近で測定した値です。

*3: 寿命の定義は紫外線照射強度が初期値の70 %に低下した時点、または不点灯になった時点としています。

外形寸法図(単位:mm)

エキシマランプ光源 L13129シリーズ

外部制御コネクタ(D-sub 15ピン)接続

ピンNo. 信号
1

マニュアル照射
点灯制御信号 (+)

入力
2 マニュアル照射
点灯制御信号 (-)
入力
3 オート照射
点灯制御信号 (+)
入力
4 オート照射
点灯制御信号 (-)
入力
5 点灯信号 出力
6 エラー信号 出力
7 無接続
8 無接続
9 出力電圧 (+24 V) 出力
10 出力電圧 (+24 V) 出力
11 出力電圧 (+24 V) 出力
12 GND.
13 GND.
14 GND.
15 GND.

付属品

  • ACケーブル(2 m)

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