FLAT EXCIMER

EX-mini

驚きの軽さで、どこでも簡単に高精度な実験・評価を行うことが可能です。

EX-86Uと同等のランプ性能を有しています。

特長

  • 小型軽量化で持ち運びが可能
  • 持ち運び可能なサイズ・重さを実現したことにより、設置場所や使用環境などに制限されることがありません。

     

  • 照射ボックスと一体型のオールインワン光源
  • 照射ボックスなどの設計が不要なため、これ1台ですぐに使用することが可能です。

     

  • オゾン分解ユニット E12685(オプション)
  • 冷却機能とオゾン分解機能を有しており、EX-miniに搭載することで排気ダクトが不要となり、室内排気が可能となります。

内寸 (W × H × D) : 204 mm × 118 mm × 139 mm
(突起部は除く)

NOTE: サンプル台 (ジャッキなど) は付属しません。

仕様

項目 内容 / 値 単位
窓材質 石英ガラス
照射窓サイズ 86 × 40 nm
ピーク波長 172 nm
紫外線照射強度 (*1) Min. 50 mW/cm2
ランプ保証寿命 (*2) 1000 h
ランプ設計寿命 2000 h
リプレイスランプ(別売) L12681-02
窒素流量 10 ~ 30 L/min
入力電圧(DC) 100 V ~ 240 V、単相 50 Hz / 60 Hz
消費電力 Max. 150 VA
冷却方式 オゾン分解ユニット E12685もしくはダクトによる強制空冷 (*3)
動作温度範囲 +5 ℃ ~ +35 ℃
保存温度範囲 -5 ℃ ~ +55 ℃(氷結なきこと)
動作湿度範囲 30 % ~ 80 %(結露なきこと)
保存湿度範囲 80 %以下(結露なきこと)
外部制御 点灯制御、点灯信号、各種アラーム・エラー信号
適合規格 EMC規格 IEC 61326-1
Emission limits: CISPR 11 Group 2 Class A
Immunity requirements: Table 2
安全性規格 IEC 61010-1/A1
IEC 62471 Risk Group 2

*1: 弊社製紫外線積算光量計 C9536, H9535-172にてランプ直近で測定した値です。

*2: 寿命の定義は紫外線照射強度が初期値の70 %に低下した時点、または不点灯になった時点としています。

*3: オプションのオゾン分解ユニット E12685は、冷却機能とオゾン分解機能を有しており、使用することで排気ダクトが不要となります。

   排気ダクトを使用する場合は、ダクト吸引風量 0.25 m3/min ~ 0.35 m3/minにて排気してください。また、排気にはオゾンが含まれますので、必要に応じてオゾン分解フィルタを設置してください。

外形寸法図(単位:mm)

外部制御コネクタ(D-sub 15ピン)接続

ピンNo. 信号
1

マニュアル照射
点灯制御信号 (+)

入力
2 マニュアル照射
点灯制御信号 (-)
入力
3 オート照射
点灯制御信号 (+)
入力
4 オート照射
点灯制御信号 (-)
入力
5 点灯信号 出力
6 エラー信号 出力
7 無接続
8 無接続
9 出力電圧 (+24 V) 出力
10 出力電圧 (+24 V) 出力
11 出力電圧 (+24 V) 出力
12 GND.
13 GND.
14 GND.
15 GND.

付属品

  • ACケーブル(2 m)
  • 外部ファン短絡コネクタ

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