FLAT EXCIMER

EX-mini

驚きの手軽さにより、どこでも簡易的に精度の高い実験・評価をすることが可能となりました。インライン向けエキシマランプ光源 EX-400 / EX-86U と同等のランプ性能を有するため、R&D向けエキシマランプ光源 EX-mini での評価結果をそのままインラインにいかすことができます。

特長

  1. 照射ボックスと一体型のオールインワン光源
  2. 持ち運び可能な小型サイズ
  3. 高出力で均一な照射
  4. オゾン分解ユニット(オプション)により、室内に排気可能
  5. インターロック・各種エラー信号など、安全性の高い設計
  6. 照射時間の設定が可能
  7. AC100 V ~ 240 V電源動作可能
  8. 瞬時点灯 / 消灯

制御内容

パネル制御

  • マニュアル照射 / オート照射切替
  • ランプ点灯 / 消灯
  • ランプ点灯積算時間の表示 / リセット
  • 照射時間の設定
  • 設定照射時間の表示
  • 点灯信号
  • 各種エラー信号、ライフ警告信号

外部制御

  • マニュアル照射 / オート照射切替
  • ランプ点灯 / 消灯
  • 点灯信号
  • 各種エラー信号

仕様

項目 内容/値 単位
発光波長 172 nm
照射強度 *1 Typ. 65 mW/cm2
照射面サイズ(W × H) 86 x 40 mm
ランプ設計寿命 *2 2000 h
入力電圧(AC) 100~240 V
消費電力 150以下 VA
冷却方式 ダクトまたはファンによる強制空冷 -
ダクト吸引風量 *3*4 0.25 ~ 0.35 m3/min
動作 / 保存温度範囲 +5 ~ +35 / -25 ~ +55
動作 / 保存湿度範囲 10 ~ 80 / 80 以下(結露なきこと) %
制御方法 パネル制御 / 外部制御 -
質量 6.5 kg
適合規格 EMC規格 IEC61326-1: 2013 グループ2 Class A -
安全性規格 IEC61010-1: 2010
IEC62471: 2008 リスクグループ2
-
環境規格 RoHS指令
WEEE指令
-

*1: 弊社製紫外線積算光量計 C9536/H9535-172 で、ランプ直近にて測定したと仮定して試算した値。
*2: リプレイスランプについては L12681-02 をご指定ください。
*3: 冷却用 / オゾン排出用排気ダクトのダクト吸引風量です。
*4: 排気ダクトもしくは、排気ダクト不要のオゾン分解ユニットE12685(オプション)をご用意ください。

外形寸法図(単位:mm)

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