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LCOS-SLM(空間光位相変調器)

LCOS-SLMは、光の位相を自由に変調する反射型の空間光位相変調器です。

LCOS-SLM(空間光位相変調器)と空間光位相変調モジュールの概要

  LCOS-SLM(空間光位相変調器) 空間光位相変調モジュール
製品の特長・ポイント
  • さまざまな波長帯に対応したラインアップ
  • 加工用高出力レーザにも適用可能(水冷タイプ)
  • PCレスによる制御が可能(X15223シリーズのみ)
  • 半導体製造装置への搭載実績に基づく高信頼性
  • LCOS-SLM、光学素子、電子冷却ユニットが一体化され、取り扱いが容易
  • 微小2次元マーキングや収差補正などの各種機能を搭載したソフトウエアおよび開発キットを標準添付
  • 市販ケージシステムを用いた汎用光学システムを構築可能
  • ホモジナイザ(オプション)を用いることで、耐光性向上を実現
製品構成
  • 光学系:反射型
  • 冷却機構:水冷ヒートシンク(水冷タイプのみ)
  • 光学系:疑似透過型
  • 冷却機構:電子冷却(全シリーズ)
シリーズラインアップ

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