MEMS-FPI分光センサ

C14273

MEMSチューナブルフィルタと受光素子を一体化した近赤外用の超小型分光センサ (1750~2150 nm)

 

MEMS-FPI分光センサ C14273は、印加電圧により透過波長を可変できるMEMS-FPI (Fabry-Perot Interferometer: ファブリペロー干渉計)チューナブルフィルタとInGaAs PINフォトダイオードを1パッケージに収めた超小型センサです。感度波長範囲は1750~2150 nmであり、物質の吸光度などの簡易計測用小型機器への組み込みに適しています。

 

■特長
・当社製InGaAs PINフォトダイオードの単素子チップ内蔵
・感度波長範囲: 1750~2150 nm
・超小型: TO-5パッケージ
・超軽量: 1 g
・ハーメチックパッケージ: 高湿度に対して高信頼性を実現
・サーミスタ内蔵
・感度波長範囲以外をカットするバンドパスフィルタ内蔵

測定例

プラスチックのスペクトル測定

MEMS-FPI分光センサと近赤外線光源を内蔵したデモモジュールで、プラスチックの反射分光スペクトルを測定しました。得られたスペクトルから、プラスチックの成分を推定することができます。

繊維のスペクトル測定

MEMS-FPI分光センサと近赤外線光源を内蔵したデモモジュールで、生地の反射分光スペクトルを測定しました。得られたスペクトルから、衣類の生地の成分を推定することができます。

仕様

型名

C14273

C14273

C14272

C14272

C13272-02

C13272-02

C13272-02

C13272-03

感度波長範囲 1750~2150 nm 1350~1650 nm 1550~1850 nm 1550~1850 nm
波長分解能 (半値幅) max. 22 nm 18 nm 20 nm 20 nm
暗電流 max. 150 nA 10 nA 40 nA 100 nA
検出素子受光面サイズ φ0.3 mm φ0.3 mm φ0.1 mm φ0.3 mm
バンドパスフィルタ 内蔵 内蔵 内蔵 内蔵
パッケージ TO-5 TO-5 TO-5 TO-5
備考 指定のない場合はTyp. Ta=25 ℃ 指定のない場合はTyp. Ta=25 ℃ 指定のない場合はTyp. Ta=25 ℃ 指定のない場合はTyp. Ta=25 ℃

外形寸法図 (単位: mm)

関連ドキュメント

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