紫外線積算光量計

C9536/H9535 SERIES

フィルタレスで特定波長の紫外光を直接検出できる紫外線積算光量計です。 センサヘッドには、長寿命・高安定な光量計測を可能にするUVセンサ(光電管)を使用し、コントローラと合わせ、国家標準に基づき校正を行っています。センサヘッドを分離させ、ベルトコンベアに流しての計測、ケーブルの取り回しが困難な場所での計測も可能です。また、RS-232Cによる外部制御に加え、アナログ出力も備えていますので、データレコーダ等への記録もできます。

特長

  • 絶対値光量管理(mW/cm2)が可能
    波長毎(172 nm、185 nm、222 nm、254 nm)の感度校正データおよび校正証明書を添付
  • センサヘッド分離 / 独立動作可能
    センサヘッドを分離させ、UV炉等のベルトコンベア上での測定も可能
  • 薄型センサヘッド:厚さ14 mm
    光源に近接させた使用を可能にします
  • 外部コントロール可能:RS-232C
    RS-232Cインターフェース内蔵(コントローラ)
  • DUV光劣化の少ない「フィルタレス方式」採用
    フィルタ等を使用せず、特定波長の紫外光を直接検出
  • 広い入射角度特性
    拡散板なしでcosθに近い、斜入射光特性

使用例

  • エキシマランプモニタ
  • 低圧水銀ランプモニタ
  • 紫外照度測定
    ・UV炉(コーティング、接着、印刷) ・UV洗浄 ・UV殺菌 ・表面改質

仕様

コントローラ : C9536

表示 液晶デジタル表示 [照射光量 (mW / cm2) / 積算光量 (mJ / cm2) : 有効最大4桁]
機能 リアルタイム / 積算 / ピークホールド / 温度
積算時間設定 1 s ~ 5 min (1 s単位)
アナログ出力 0V ~ +2V
外部インターフェース RS-232C
電源 2次電池(内蔵) / 専用ACアダプタ(AC100 V ~ 240 V) (付属)
動作周囲温度 / 湿度 0 ℃ ~ +40 ℃ / 80 %以下(結露なきこと)
保存温度 / 湿度 -20 ℃ ~ +50 ℃ / 80 %以下(結露なきこと)
質量 約285 g

センサヘッド : H9535シリーズ

  H9535-172 H9535-222 H9535-185 H9535-254 単位
絶対値校正波長 172 222 185 254 nm
対象光源 エキシマランプ 低圧水銀ランプ -
受光面サイズ φ6 mm
照射光量測定範囲 0.001 ~ 200 mW/cm2
国家標準 NIST AIST NIST AIST -
動作周囲温度 / 湿度 0 ℃ ~ +60 ℃ / 80 %以下 (結露なきこと) -
保存温度 / 湿度 -20 ℃ ~ +60 ℃ / 80 %以下 (結露なきこと) -
質量 センサヘッド 約60 g / ケーブル 約110 g -

C9536, H9535シリーズは、真空環境下ではご使用できません。

受光部特性

H9535-172, -185分光感度特性

H9535-222分光感度特性

H9535-254分光感度特性

入射角度特性

外形寸法図(単位:mm)

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