MiNY PL マイクロLED PL検査装置

C15740-01

MiNY PL は、フォトルミネッセンス(PL)計測法を用いたマイクロLED ウェーハの検査装置です。

仕様

型名 C15740-01
対応ウェーハサイズ 100 mm(4インチ)  または150 mm(6インチ)(他サイズ応相談)
計測時間 約12分(対物レンズ10×、 PL計測、4インチウェーハ)
PL 計測波長 R、G、B
空間分解能 1 μm/pixel (標準モード)、0.5 μm/pixel (High resolutionモード)
計測項目 形状異常、PL輝度、PL波長異常
外形寸法 / 重量 2000 mm(W) × 1878 mm(H) × 1130 mm(D)  /  約1800 kg
クリーンルーム対応

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